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ヤマト科学

小型プラズマ装置 PM100

●プラズマ装置の廉価版 ●シンプル操作でルーチンワーク向け ●高周波利用申請は不要です。

●プラズマ発生源：低周波高電圧電源、出力50W未満、60kHz、ピーク電圧10kV ●電極構造：コンデンサー形2分割 ●ガスフローメータ：酸素ガス用、流量30～300mL/min ●真空、パージ調整バルブ：スロー真空引、スローパージ用 ●チャンバー寸法：内径100mm×奥行最大約200mm ●外形寸法：W310mm×D300mm×H448mm（突起含まず） ●電源：AC100V ●コード番号：215015 ●

品番

61-9659-52

販売価格(税込)

1,621,620円

出荷予定日

通常99営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

卓上小型プラズマ装置 PDC510

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。

●プラズマモード：RIE/DP切替器付 ●電極構造：平行平板（電極間固定） ●高周波出力：mAX 500W ●発振周波数：13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示（計器）：液晶タッチパネル ●チャンバー寸法：幅500×奥行300×高さ200mm ●ステージ寸法：幅400×奥行200mm ●チャンバー材質：アルミ製 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御：マスフローコントローラ ●真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約500L/分） ●ガス導入口：反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法：幅700×奥行700×高さ700mm ●電源：三相 AC200V ●コード番号：215054 ●

品番

61-9659-53

販売価格(税込)

13,384,800円

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通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

卓上小型プラズマ装置 PDC200

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。

●プラズマモード：RIE（DPオプション） ●電極構造：平行平板（電極間固定） ●高周波出力：mAX 300W ●発振周波数：13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示（計器）：液晶タッチパネル ●チャンバー寸法：幅400×奥行250×高さ150mm ●ステージ寸法：幅250×奥行170mm ●チャンバー材質：アルミ製 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御：フローメータ ●真空ポンプ：別途ご用意下さい ●ガス導入口：反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法：幅540×奥行600×高さ600mm ●電源：単相 AC100V ●コード番号：328210 ●

品番

61-9659-54

販売価格(税込)

8,918,910円

出荷予定日

通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

卓上小型プラズマ装置 PDC210

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。

●プラズマモード：RIE（DPオプション） ●電極構造：平行平板（電極間固定） ●高周波出力：mAX 500W ●発振周波数：13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示（計器）：液晶タッチパネル ●チャンバー寸法：幅400×奥行250×高さ150mm ●ステージ寸法：幅250×奥行170mm ●チャンバー材質：アルミ製 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御：マスフローコントローラ ●真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約345L/分） ●ガス導入口：反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法：幅540×奥行600×高さ600mm ●電源：三相 AC200V ●コード番号：328211 ●

品番

61-9659-55

販売価格(税込)

10,810,800円

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ヤマト科学

中型プラズマ装置 V1000

●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ●高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

●プラズマモード：DP/RIE ●高周波電源：13.56mHz ●出力（mAX）：1,000W ●電極有効ステージ寸法：幅280×奥行280/mm、平行平板 ●反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付） ●真空ポンプ：670 & 1,000L/min ●安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW ●コード番号：328212 ●

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61-9659-56

販売価格(税込)

16,859,700円

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ヤマト科学

中型プラズマ装置 V1000X

●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ●高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

●プラズマモード：DP/RIE ●高周波電源：13.56mHz ●出力（mAX）：1,000 & 1,500W ●電極有効ステージ寸法：幅300×奥行300/mm、二段電極（独立） ●反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付） ●真空ポンプ：670 & 1,500L/min ●安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW ●コード番号：328213 ●

品番

61-9659-57

販売価格(税込)

19,305,000円

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ヤマト科学

大型プラズマ装置 V1000XS

●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ●高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

●プラズマモード：DP/RIE ●高周波電源：13.56mHz ●出力（mAX）：1,000 & 1,500W ●電極有効ステージ寸法：幅400×奥行375/mm、平板（多目的） ●反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付） ●真空ポンプ：1,000 & 1,500L/min ●安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW ●コード番号：328214 ●

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61-9659-58

販売価格(税込)

18,661,500円

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アマノ

エアロゾルコレクター 空気清浄装置 AC-15

●大風量で室内を短時間で浄化！ウイルス・微粒子を吸引・抑制！ ●毎分15m3の風量により、66畳の部屋を30分で吸引します。捕集したエアロゾルは0.1μmの微粒子を99％捕集可能な集塵電極により吸着し、クリーンな空気に浄化します。 ●金属製の電気集塵式電極により、フィルター式のように、湿気による目詰まりを起こすことがなく、エアロゾル（微粒子やウイルス等）を長期に渡り強力に捕集します。 ●捕集されたウイルスは集塵極板の表面に吸着されるため、フィルター繊維の奥に入り込んでしまい、紫外線が届きにくくなるといったこともなく、確実に照射することでウイルスを抑制します。 ●新開発のプラズマ放電極【特許登録】を採用することにより、従来品に比べ、低電圧・低電力での運転が可能となり安全性を向上しました。また、プラズマ放電時に発生する有害なオゾン発生を極限まで最小化しています。 ●荷電極及び集塵極の上下に計4本の蛍光灯式UV-C紫外線ランプを配置し、運転停止後に30分間紫外線を照射することでウイルスを抑制します。 ●業務用としてヘビーデューティーな使用・設置環境に耐える堅牢な筐体を採用。 ●【用途】オフィス、工場、学校、病院など人が集まる施設に。

●電源（V）：交流100（50/60Hz） ●本体外径寸法W×D×H（mm）：971×466×659 ●本体質量（kg）：69 ●紫外線UV-Cランプ：電極上下に配置（4本） ●集塵方式：二段式電気集塵 ●風量（m3/min）：15（5モードに設定可能） ●運転音（dB）：60 ●消費電力（W）：250 ●大気塵0.1μm集塵効率（％）：99（メーカーパーティクルサイザーによる測定） ●

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64-5410-49

販売価格(税込)

647,350円

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ヤマト科学

プラズマリアクター PR300

●メンブレンフィルターのニトロセルロース材は非常に発火性の高い材質です。低温灰化装置では、酸素をプラズマ化することによりメンブレンフィルターと酸素を反応・結合・ガス化してゆっくり除去することができますので、突然の発火や炭化することなくフィルターのみの除去が可能です。また処理中の発熱は最高でも200℃前後ですので、400℃近辺から結晶水を失い始めるクリソタイルにも熱ダメージを与えません。

●方式：DP方式バレル型 ●制御部：高周波出力：max300W、発振周波数：13.56mHz、同調方式：手動2軸同調方式 ●反応部：反応槽：3室超硬質ガラスφ64×160mm×3室、反応ガス系：1系統、制御系：自動減圧、自動リークバルブ、配管系材質 ：SUS、テフロン、銅、銅合金 ●外形寸法：幅438×奥行520×高さ556mm ●コード番号：215006 ●

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61-9659-48

販売価格(税込)

4,864,860円

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通常5営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

プラズマリアクター PR301

●メンブレンフィルターのニトロセルロース材は非常に発火性の高い材質です。低温灰化装置では、酸素をプラズマ化することによりメンブレンフィルターと酸素を反応・結合・ガス化してゆっくり除去することができますので、突然の発火や炭化することなくフィルターのみの除去が可能です。また処理中の発熱は最高でも200℃前後ですので、400℃近辺から結晶水を失い始めるクリソタイルにも熱ダメージを与えません。

●方式：DP方式バレル型 ●制御部：高周波出力：max300W、発振周波数：13.56mHz、同調方式：手動2軸同調方式 ●反応部：反応槽：パイレックス製　φ118×160mm 、反応ガス系：1系統、制御系：自動減圧、自動リークバルブ、配管系材質 ：SUS、テフロン ●外形寸法：幅438×奥行520×高さ656mm ●コード番号：215008 ●

品番

61-9659-50

販売価格(税込)

4,864,860円

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ヤマト科学

プラズマドライクリーナー PDC610

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。 ●最高出力600Wと小型高出力 ●電極を1段・2段・3段と変更可能 ●縦型マガジン等の処理が可能 ●RIE/DPモード切替方式 ●データロガー組み込み（オプション） ●マッチングポイント記憶機能（オプション）

●プラズマモード：RIE/DP ●電極構造：3段独立平行平板 ●高周波出力：mAX600W ●発信周波数：13.56mHz ●制御・表示方式：シーケンサー・タッチパネル ●チャンバー寸法：350×270×300mm ●チャンバー材質：A5052 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素またはドライエア ●真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約345L/分） ●外形寸法：600×722×700mm ●外装材質：ステンレス ●電源※：三相 AC200 50/60Hz ●海外規格：FCC ●コード番号：328216 ●

品番

61-9659-59

販売価格(税込)

13,256,100円

出荷予定日

通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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