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7件
の商品がございます。
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在庫あり商品
ヤマト科学
小型プラズマ装置 PM100
●プラズマ装置の廉価版 ●シンプル操作でルーチンワーク向け ●高周波利用申請は不要です。
●プラズマ発生源:低周波高電圧電源、出力50W未満、60kHz、ピーク電圧10kV ●電極構造:コンデンサー形2分割 ●ガスフローメータ:酸素ガス用、流量30~300mL/min ●真空、パージ調整バルブ:スロー真空引、スローパージ用 ●チャンバー寸法:内径100mm×奥行最大約200mm ●外形寸法:W310mm×D300mm×H448mm(突起含まず) ●電源:AC100V ●コード番号:215015 ●
品番
61-9659-52
販売価格
(税込)
1,629,936
円
出荷予定日
通常5営業日
メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。
詳細を見る
販売停止
ヤマト科学
卓上小型プラズマ装置 PDC510
●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。
●プラズマモード:RIE/DP切替器付 ●電極構造:平行平板(電極間固定) ●高周波出力:mAX 500W ●発振周波数:13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示(計器):液晶タッチパネル ●チャンバー寸法:幅500×奥行300×高さ200mm ●ステージ寸法:幅400×奥行200mm ●チャンバー材質:アルミ製 ●反応ガス:2系統(アルゴン、酸素) ●パージガス:窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御:マスフローコントローラ ●真空ポンプ:ロータリー真空ポンプ(約500L/分) ●ガス導入口:反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法:幅700×奥行700×高さ700mm ●電源:三相 AC200V ●コード番号:215054 ●
品番
61-9659-53
販売価格
(税込)
13,453,440
円
出荷予定日
通常5営業日
メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。
詳細を見る
販売停止
ヤマト科学
卓上小型プラズマ装置 PDC200
●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。
●プラズマモード:RIE(DPオプション) ●電極構造:平行平板(電極間固定) ●高周波出力:mAX 300W ●発振周波数:13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示(計器):液晶タッチパネル ●チャンバー寸法:幅400×奥行250×高さ150mm ●ステージ寸法:幅250×奥行170mm ●チャンバー材質:アルミ製 ●反応ガス:2系統(アルゴン、酸素) ●パージガス:窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御:フローメータ ●真空ポンプ:別途ご用意下さい ●ガス導入口:反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法:幅540×奥行600×高さ600mm ●電源:単相 AC100V ●コード番号:328210 ●
品番
61-9659-54
販売価格
(税込)
8,968,960
円
出荷予定日
通常33営業日
メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。
詳細を見る
販売停止
ヤマト科学
卓上小型プラズマ装置 PDC210
●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。
●プラズマモード:RIE(DPオプション) ●電極構造:平行平板(電極間固定) ●高周波出力:mAX 500W ●発振周波数:13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示(計器):液晶タッチパネル ●チャンバー寸法:幅400×奥行250×高さ150mm ●ステージ寸法:幅250×奥行170mm ●チャンバー材質:アルミ製 ●反応ガス:2系統(アルゴン、酸素) ●パージガス:窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御:マスフローコントローラ ●真空ポンプ:ロータリー真空ポンプ(約345L/分) ●ガス導入口:反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法:幅540×奥行600×高さ600mm ●電源:三相 AC200V ●コード番号:328211 ●
品番
61-9659-55
販売価格
(税込)
10,866,240
円
出荷予定日
通常5営業日
メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。
詳細を見る
販売停止
ヤマト科学
中型プラズマ装置 V1000
●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ●高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性
●プラズマモード:DP/RIE ●高周波電源:13.56mHz ●出力(mAX):1,000W ●電極有効ステージ寸法:幅280×奥行280/mm、平行平板 ●反応ガス:マイクロコントロール2系統(パージガス系別途付) ●真空ポンプ:670 & 1,000L/min ●安全装置:ドアSW、測板インターロック、非常停止SW ●コード番号:328212 ●
品番
61-9659-56
販売価格
(税込)
16,139,200
円
出荷予定日
通常33営業日
メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。
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販売停止
ヤマト科学
プラズマリアクター PR300
●メンブレンフィルターのニトロセルロース材は非常に発火性の高い材質です。低温灰化装置では、酸素をプラズマ化することによりメンブレンフィルターと酸素を反応・結合・ガス化してゆっくり除去することができますので、突然の発火や炭化することなくフィルターのみの除去が可能です。また処理中の発熱は最高でも200℃前後ですので、400℃近辺から結晶水を失い始めるクリソタイルにも熱ダメージを与えません。
●方式:DP方式バレル型 ●制御部:高周波出力:max300W、発振周波数:13.56mHz、同調方式:手動2軸同調方式 ●反応部:反応槽:3室超硬質ガラスφ64×160mm×3室、反応ガス系:1系統、制御系:自動減圧、自動リークバルブ、配管系材質 :SUS、テフロン、銅、銅合金 ●外形寸法:幅438×奥行520×高さ556mm ●コード番号:215006 ●
品番
61-9659-48
販売価格
(税込)
4,656,960
円
出荷予定日
通常5営業日
メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。
詳細を見る
販売停止
ヤマト科学
プラズマリアクター PR301
●メンブレンフィルターのニトロセルロース材は非常に発火性の高い材質です。低温灰化装置では、酸素をプラズマ化することによりメンブレンフィルターと酸素を反応・結合・ガス化してゆっくり除去することができますので、突然の発火や炭化することなくフィルターのみの除去が可能です。また処理中の発熱は最高でも200℃前後ですので、400℃近辺から結晶水を失い始めるクリソタイルにも熱ダメージを与えません。
●方式:DP方式バレル型 ●制御部:高周波出力:max300W、発振周波数:13.56mHz、同調方式:手動2軸同調方式 ●反応部:反応槽:パイレックス製 φ118×160mm 、反応ガス系:1系統、制御系:自動減圧、自動リークバルブ、配管系材質 :SUS、テフロン ●外形寸法:幅438×奥行520×高さ656mm ●コード番号:215008 ●
品番
61-9659-50
販売価格
(税込)
4,889,808
円
出荷予定日
通常99営業日
メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。
詳細を見る
販売停止
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