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ヤマト科学

小型プラズマ装置 PM100

●プラズマ装置の廉価版 ●シンプル操作でルーチンワーク向け ●高周波利用申請は不要です。

●プラズマ発生源：低周波高電圧電源、出力50W未満、60kHz、ピーク電圧10kV ●電極構造：コンデンサー形2分割 ●ガスフローメータ：酸素ガス用、流量30～300mL/min ●真空、パージ調整バルブ：スロー真空引、スローパージ用 ●チャンバー寸法：内径100mm×奥行最大約200mm ●外形寸法：W310mm×D300mm×H448mm（突起含まず） ●電源：AC100V ●コード番号：215015 ●

品番

61-9659-52

販売価格(税込)

1,621,620円

出荷予定日

通常5営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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販売停止

ヤマト科学

卓上小型プラズマ装置 PDC510

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。

●プラズマモード：RIE/DP切替器付 ●電極構造：平行平板（電極間固定） ●高周波出力：mAX 500W ●発振周波数：13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示（計器）：液晶タッチパネル ●チャンバー寸法：幅500×奥行300×高さ200mm ●ステージ寸法：幅400×奥行200mm ●チャンバー材質：アルミ製 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御：マスフローコントローラ ●真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約500L/分） ●ガス導入口：反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法：幅700×奥行700×高さ700mm ●電源：三相 AC200V ●コード番号：215054 ●

品番

61-9659-53

販売価格(税込)

13,384,800円

出荷予定日

通常99営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

卓上小型プラズマ装置 PDC200

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。

●プラズマモード：RIE（DPオプション） ●電極構造：平行平板（電極間固定） ●高周波出力：mAX 300W ●発振周波数：13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示（計器）：液晶タッチパネル ●チャンバー寸法：幅400×奥行250×高さ150mm ●ステージ寸法：幅250×奥行170mm ●チャンバー材質：アルミ製 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御：フローメータ ●真空ポンプ：別途ご用意下さい ●ガス導入口：反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法：幅540×奥行600×高さ600mm ●電源：単相 AC100V ●コード番号：328210 ●

品番

61-9659-54

販売価格(税込)

8,918,910円

出荷予定日

通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

卓上小型プラズマ装置 PDC210

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。

●プラズマモード：RIE（DPオプション） ●電極構造：平行平板（電極間固定） ●高周波出力：mAX 500W ●発振周波数：13.56mHz 水晶発振 ●制御・表示（計器）：液晶タッチパネル ●チャンバー寸法：幅400×奥行250×高さ150mm ●ステージ寸法：幅250×奥行170mm ●チャンバー材質：アルミ製 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素、またはドライエア ●反応ガス流量制御：マスフローコントローラ ●真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約345L/分） ●ガス導入口：反応ガス2個、パージ1個 ●外形寸法：幅540×奥行600×高さ600mm ●電源：三相 AC200V ●コード番号：328211 ●

品番

61-9659-55

販売価格(税込)

10,810,800円

出荷予定日

通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

中型プラズマ装置 V1000

●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ●高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

●プラズマモード：DP/RIE ●高周波電源：13.56mHz ●出力（mAX）：1,000W ●電極有効ステージ寸法：幅280×奥行280/mm、平行平板 ●反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付） ●真空ポンプ：670 & 1,000L/min ●安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW ●コード番号：328212 ●

品番

61-9659-56

販売価格(税込)

16,859,700円

出荷予定日

通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

中型プラズマ装置 V1000X

●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ●高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

●プラズマモード：DP/RIE ●高周波電源：13.56mHz ●出力（mAX）：1,000 & 1,500W ●電極有効ステージ寸法：幅300×奥行300/mm、二段電極（独立） ●反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付） ●真空ポンプ：670 & 1,500L/min ●安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW ●コード番号：328213 ●

品番

61-9659-57

販売価格(税込)

19,305,000円

出荷予定日

通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

大型プラズマ装置 V1000XS

●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ●高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

●プラズマモード：DP/RIE ●高周波電源：13.56mHz ●出力（mAX）：1,000 & 1,500W ●電極有効ステージ寸法：幅400×奥行375/mm、平板（多目的） ●反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付） ●真空ポンプ：1,000 & 1,500L/min ●安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW ●コード番号：328214 ●

品番

61-9659-58

販売価格(税込)

18,661,500円

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通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

プラズマリアクター PR300

●メンブレンフィルターのニトロセルロース材は非常に発火性の高い材質です。低温灰化装置では、酸素をプラズマ化することによりメンブレンフィルターと酸素を反応・結合・ガス化してゆっくり除去することができますので、突然の発火や炭化することなくフィルターのみの除去が可能です。また処理中の発熱は最高でも200℃前後ですので、400℃近辺から結晶水を失い始めるクリソタイルにも熱ダメージを与えません。

●方式：DP方式バレル型 ●制御部：高周波出力：max300W、発振周波数：13.56mHz、同調方式：手動2軸同調方式 ●反応部：反応槽：3室超硬質ガラスφ64×160mm×3室、反応ガス系：1系統、制御系：自動減圧、自動リークバルブ、配管系材質 ：SUS、テフロン、銅、銅合金 ●外形寸法：幅438×奥行520×高さ556mm ●コード番号：215006 ●

品番

61-9659-48

販売価格(税込)

4,864,860円

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通常5営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

プラズマリアクター PR301

●メンブレンフィルターのニトロセルロース材は非常に発火性の高い材質です。低温灰化装置では、酸素をプラズマ化することによりメンブレンフィルターと酸素を反応・結合・ガス化してゆっくり除去することができますので、突然の発火や炭化することなくフィルターのみの除去が可能です。また処理中の発熱は最高でも200℃前後ですので、400℃近辺から結晶水を失い始めるクリソタイルにも熱ダメージを与えません。

●方式：DP方式バレル型 ●制御部：高周波出力：max300W、発振周波数：13.56mHz、同調方式：手動2軸同調方式 ●反応部：反応槽：パイレックス製　φ118×160mm 、反応ガス系：1系統、制御系：自動減圧、自動リークバルブ、配管系材質 ：SUS、テフロン ●外形寸法：幅438×奥行520×高さ656mm ●コード番号：215008 ●

品番

61-9659-50

販売価格(税込)

4,864,860円

出荷予定日

通常99営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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ヤマト科学

プラズマドライクリーナー PDC610

●プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。 ●最高出力600Wと小型高出力 ●電極を1段・2段・3段と変更可能 ●縦型マガジン等の処理が可能 ●RIE/DPモード切替方式 ●データロガー組み込み（オプション） ●マッチングポイント記憶機能（オプション）

●プラズマモード：RIE/DP ●電極構造：3段独立平行平板 ●高周波出力：mAX600W ●発信周波数：13.56mHz ●制御・表示方式：シーケンサー・タッチパネル ●チャンバー寸法：350×270×300mm ●チャンバー材質：A5052 ●反応ガス：2系統（アルゴン、酸素） ●パージガス：窒素またはドライエア ●真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約345L/分） ●外形寸法：600×722×700mm ●外装材質：ステンレス ●電源※：三相 AC200 50/60Hz ●海外規格：FCC ●コード番号：328216 ●

品番

61-9659-59

販売価格(税込)

13,256,100円

出荷予定日

通常33営業日 メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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