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50件の商品がございます。

エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　デジタル制御ソフト

●デジタル制御ソフト

品番: 4-1546-14
販売価格(税込): 3,275円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　MFC-MFC間ケーブル（C2000シリーズ用）

●MFC-MFC間ケーブル（C2000シリーズ用）

品番: 4-1546-13
販売価格(税込): 3,870円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　ACアダプタ（C2000シリーズ用）

●ACアダプタ（C2000シリーズ用）

品番: 4-1546-12
販売価格(税込): 4,167円
出荷予定日: 通常30営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　RS485交換ユニット

●RS485交換ユニット

品番: 4-1546-11
販売価格(税込): 41,275円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー（制御電源一体型）100SLM N2

●制御電源が一体型でコンパクトです。 ●流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。

●フルスケール流量：100SLM ●対応ガス：N2 ●接続：1/4in.SWL相当（4-5430-01・01のみ3/8in.SWL相当） ●流量設定電圧：0.25～5VDC ●流量出力電圧：0～5VDC ●流量設定/出力表示：スケーリング表示 ●設定/出力表示切替：トグルスイッチ ●背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●電源：AC100V ●サイズ：127×90×150mm ●重量：1.45kg ●付属品：ACコード（2m）

品番: 4-5430-02
販売価格(税込): 271,863円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー（制御電源一体型）100SLM Air

●制御電源が一体型でコンパクトです。 ●流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。

●フルスケール流量：100SLM ●対応ガス：Air ●接続：1/4in.SWL相当（4-5430-01・01のみ3/8in.SWL相当） ●流量設定電圧：0.25～5VDC ●流量出力電圧：0～5VDC ●流量設定/出力表示：スケーリング表示 ●設定/出力表示切替：トグルスイッチ ●背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●電源：AC100V ●サイズ：127×90×150mm ●重量：1.45kg ●付属品：ACコード（2m）

品番: 4-5430-01
販売価格(税込): 271,863円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　500SCCM　H2

●表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。 ●駆動電源は24VDC単電源（ACアダプタ利用可能）です。 ●デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。 ●積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1551-05
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　500SCCM　He

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1551-04
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　500SCCM　Ar

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1551-03
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　500SCCM　N2

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1551-02
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常30営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　500SCCM　Air

●フルスケール流量：500SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1551-01
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

タッチパネル式ガス混合器

●マスフローコントローラーを使用しているため、圧力・温度の影響を受けにくく安定した混合ガスの供給が可能です。 ●タッチパネル式で設定が容易です。 ●各ラインの流量・時間を設定しプログラム運転が可能です。 ●各ライン流量の上下限設定が可能で警報音通知が可能です。

●混合ライン数：4 ●サイズ（mm）：510×400×280 ●対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせください） ●流量：各ガスF、S、10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと） ●接続：1/4SWL相当 ●入力電源：AC100V ●※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。

品番: 3-8303-03
販売価格(税込): 2,745,600円
出荷予定日: 通常64営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

タッチパネル式ガス混合器

●混合ライン数：3 ●サイズ（mm）：430×400×280 ●対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせください） ●流量：各ガスF、S、10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと） ●接続：1/4SWL相当 ●入力電源：AC100V ●※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。

品番: 3-8303-02
販売価格(税込): 2,059,200円
出荷予定日: 通常64営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

タッチパネル式ガス混合器

●混合ライン数：2 ●サイズ（mm）：350×400×280 ●対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせください） ●流量：各ガスF、S、10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと） ●接続：1/4SWL相当 ●入力電源：AC100V ●※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。

品番: 3-8303-01
販売価格(税込): 1,372,800円
出荷予定日: 通常64営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　5SLM　H2

●フルスケール流量：5SLM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm

品番: 4-1554-05
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　5SLM　He

●フルスケール流量：5SLM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm

品番: 4-1554-04
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　5SLM　Ar

●フルスケール流量：5SLM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm

品番: 4-1554-03
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　5SLM　N2

●フルスケール流量：5SLM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm

品番: 4-1554-02
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　5SLM　Air

●フルスケール流量：5SLM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm

品番: 4-1554-01
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　100LM　N2

●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。 ●スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。

●流量（LM）：100 ●ガス：N2 ●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃） ●再現性：±0.5％FS ●流量制御範囲：5～100％FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃　85％RH以下 ●応答性：15sec ●動作圧力範囲：200～300kPa ●耐圧：1MPa（G） ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec（He）以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：3/8in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●バルブ形式：N/O　ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5％　60mA、-15VDC±5％　150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ） ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 63-1247-02
販売価格(税込): 184,591円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　100LM　Air

●流量（LM）：100 ●ガス：Air ●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃） ●再現性：±0.5％FS ●流量制御範囲：5～100％FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃　85％RH以下 ●応答性：15sec ●動作圧力範囲：200～300kPa ●耐圧：1MPa（G） ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec（He）以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●バルブ形式：N/O　ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5％　60mA、-15VDC±5％　150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ） ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 63-1247-01
販売価格(税込): 184,591円
出荷予定日: 通常22営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　50LM　H2

●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。 ●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

●流量(SLM)：50 ●ガス：H2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8035-05
販売価格(税込): 136,924円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　50LM　He

●流量(SLM)：50 ●ガス：He ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8035-04
販売価格(税込): 135,931円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　50LM　Ar

●流量(SLM)：50 ●ガス：Ar ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8035-03
販売価格(税込): 136,924円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　50LM　N2

●流量(SLM)：50 ●ガス：N2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8035-02
販売価格(税込): 136,924円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　50LM　Air

●流量(SLM)：50 ●ガス：Air ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8035-01
販売価格(税込): 136,924円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　30LM　H2

●流量(SLM)：30 ●ガス：H2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8034-05
販売価格(税込): 131,963円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　30LM　He

●流量(SLM)：30 ●ガス：He ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8034-04
販売価格(税込): 130,970円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　30LM　Ar

●流量(SLM)：30 ●ガス：Ar ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8034-03
販売価格(税込): 131,963円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　30LM　N2

●流量(SLM)：30 ●ガス：N2 ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8034-02
販売価格(税込): 131,963円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー　30LM　Air

●流量(SLM)：30 ●ガス：Air ●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃) ●再現性：±0.2%FS ●流量制御範囲：5～100%FS ●流体：気体 ●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下 ●応答性：6sec ●動作圧力範囲：50～300kPa ●耐圧：1MPa(G) ●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 ●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム ●表面処理：機械加工仕上げ ●継手：1/4in.SWL相当 ●入出力：アナログ信号(0～5VDC) ●バルブ形式：N/O ノーマルオープン ●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA ●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ) ●サイズ：160×33.6×105mm

品番: 3-8034-01
販売価格(税込): 131,963円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　1SLM　H2

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1552-05
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　1SLM　He

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1552-04
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　1SLM　Ar

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1552-03
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　1SLM　N2

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1552-02
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　1SLM　Air

●フルスケール流量：1SLM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1552-01
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー（制御電源一体型）　50SLM　H2

●制御電源が一体型でコンパクトです。 ●流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。

●フルスケール流量：50SLM ●対応ガス：H2 ●接続：1/4in.SWL相当 ●流量設定電圧：0.25～5VDC ●流量出力電圧：0～5VDC ●流量設定/出力表示：スケーリング表示 ●設定/出力表示切替：トグルスイッチ ●背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●電源：AC100V ●サイズ：127×90×150mm ●重量：1.45kg ●付属品：ACコード（2m）

品番: 4-1559-05
販売価格(税込): 229,198円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー（制御電源一体型）　50SLM　He

●制御電源が一体型でコンパクトです。 ●流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。

●フルスケール流量：50SLM ●対応ガス：He ●接続：1/4in.SWL相当 ●流量設定電圧：0.25～5VDC ●流量出力電圧：0～5VDC ●流量設定/出力表示：スケーリング表示 ●設定/出力表示切替：トグルスイッチ ●背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●電源：AC100V ●サイズ：127×90×150mm ●重量：1.45kg ●付属品：ACコード（2m）

品番: 4-1559-04
販売価格(税込): 228,206円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー（制御電源一体型）　50SLM　Ar

●制御電源が一体型でコンパクトです。 ●流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。

●フルスケール流量：50SLM ●対応ガス：Ar ●接続：1/4in.SWL相当 ●流量設定電圧：0.25～5VDC ●流量出力電圧：0～5VDC ●流量設定/出力表示：スケーリング表示 ●設定/出力表示切替：トグルスイッチ ●背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●電源：AC100V ●サイズ：127×90×150mm ●重量：1.45kg ●付属品：ACコード（2m）

品番: 4-1559-03
販売価格(税込): 229,198円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー（制御電源一体型）　50SLM　N2

●制御電源が一体型でコンパクトです。 ●流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。

●フルスケール流量：50SLM ●対応ガス：N2 ●接続：1/4in.SWL相当 ●流量設定電圧：0.25～5VDC ●流量出力電圧：0～5VDC ●流量設定/出力表示：スケーリング表示 ●設定/出力表示切替：トグルスイッチ ●背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●電源：AC100V ●サイズ：127×90×150mm ●重量：1.45kg ●付属品：ACコード（2m）

品番: 4-1559-02
販売価格(税込): 229,198円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

マスフローコントローラー（制御電源一体型）　50SLM　Air

●制御電源が一体型でコンパクトです。 ●流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。

●フルスケール流量：50SLM ●対応ガス：Air ●接続：1/4in.SWL相当 ●流量設定電圧：0.25～5VDC ●流量出力電圧：0～5VDC ●流量設定/出力表示：スケーリング表示 ●設定/出力表示切替：トグルスイッチ ●背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター ●入出力：アナログ信号（0～5VDC） ●電源：AC100V ●サイズ：127×90×150mm ●重量：1.45kg ●付属品：ACコード（2m）

品番: 4-1559-01
販売価格(税込): 229,198円
出荷予定日: 通常17営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　200SCCM　H2

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1550-05
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　200SCCM　He

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1550-04
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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数量：

エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　200SCCM　Ar

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1550-03
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　200SCCM　N2

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1550-02
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　200SCCM　Air

●フルスケール流量：200SCCM ●対応ガス：Air ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1550-01
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　50SCCM　H2

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：H2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1548-05
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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数量：

エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　50SCCM　He

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：He ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1548-04
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　50SCCM　Ar

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：Ar ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1548-03
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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数量：

エフコン

デジタルマスフローコントローラー（表示設定器一体型）　50SCCM　N2

●フルスケール流量：50SCCM ●対応ガス：N2 ●流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA ●流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃） ●応答時間：≦2sec ●制御流量範囲：2～100％FS ●流量出力信号：本体表示機7セグメントLED　デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●バルブタイプ：NC（ノーマルクローズ） ●再現性：±0.2％FS ●耐圧力：1MPa ●外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe ●接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム ●シール部材質：フッ素ゴム ●標準接続継手：1/4inSWL（相当品） ●使用保証温度：5～50℃ ●供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 ●通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mA ●サイズ：127×38×100mm ●※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。

品番: 4-1548-02
販売価格(税込): 208,362円
出荷予定日: 通常33営業日メーカーの事情により発送日が遅れる場合がございます。

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